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采样解决方案--用于半导体晶片制造(Fab)的工作场所
GB/T 18883—2022 附 录E (规范性) 可吸入颗粒物中苯并[a]芘的测定
《室内空气质量标准》(GB/T 18883-2022)规定苯并[a]芘的24小时平均值限值为1.0 ng/m3,标准中将苯并[a]芘定义为可吸入颗粒物中的苯并[a]芘,采用高效液相色谱法进行分析,测定方法原理是用二氯甲烷提取吸附在可吸入颗粒物中的苯并[a]芘,经净化、浓缩、过滤后使用配备荧光检测器的高效液相色谱仪进行分析,外标法定量。
附录E中第一步是现场样品采集,规定在现场使用颗粒物采样器和滤膜进行苯并[a]芘样品的收集。将滤膜放在PM10可吸入颗粒物切割器内,颗粒物采样器提供抽气动力,使空气样本以10L/min 的流速通过PM10可吸入颗粒物切割器,含有苯并[a]芘的空气样本被滤膜截留收集。
本方法中使用的采样仪器和设备要求如下:
——颗粒物采样器:采样流量为10 L/min,流量误差小于或等于2%,
——滤膜:玻璃纤维滤膜或者石英滤膜
——可吸入颗粒物(PM10)切割器
——滤膜保存盒,每张滤膜单独保存
——采用连续采样方式时,采样时间不应少于20 h;采用间隔采样方式时,采样次数不应少于4次,累积采样时间不应少于20 h。采样流量10 L/min。
——仪器设备的噪声一般应小于50dB(A),针对室内颗粒物滤膜法采样,补充“如噪声过大,应通过安装消音盒等方式减少室内噪声”的要求,尽量减少颗粒物采样泵噪声对室内工作、生活的影响。(见附录A 室内空气质量指标检测技术导则)
——采样方法:苯并[a]芘采用24小时平均的指标因测定方法限制,无法采用筛选法,需直接采用累积法。(见附录A 室内空气质量指标检测技术导则)
可吸入颗粒物(PM10)切割器的准确性、颗粒物采样器采样流量恒流和持续采样时间是影响采样结果的关键因素。国标要求在采样前后对采样流量进行校准,采样流量不能只校准采样泵的进气流量,最准确的方法是校准可吸入颗粒物(PM10)切割器进气流量,所以DPS(Leland Legancy)配备了校准适配器,只用于切割器的流量校准,确保的进气端流量准确性。
仪器名称 |
仪器特点 |
仪器型号 |
仪器图片 |
---|---|---|---|
颗粒物采样器 |
小型、便携式、电池供电 流量范围:5-15L/min 充一次充电运行24小时 可编程连续运行或者间隔运行 可配置静音仪器箱,防水支持室外采样 |
DPS采样系统(100-3901)包含(Leland Legancy(100-3001)) IMPACT型颗粒物采样器(PM10) |
|
可吸入颗粒物(PM10)切割器 |
采样流量:10L/min 可拆卸的滤膜匣方便快速更换滤膜 配有防雨罩以便在室外使用 可选的快速安装支架几乎可以在任何地方 固定采样器 |
||
石英滤膜 |
直径47mm |
225-1823 |
|
滤膜保存盒 |
运输直径最大为47mm滤膜 |
225-22-01 |
|
校准适配器 |
将切割器和流量计连接,在采样前流量校准时使用 |
225-394 |
|
流量校准器 |
流量范围:300-30000mL/min 自动计算标况流量 |
Defender 530+H |
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