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采样解决方案--用于半导体晶片制造(Fab)的工作场所
关于TSI可吸入颗粒物检测仪的维护与保养
保养与维修
您可依下列指示,在现场为DustTrakⅡ进行维修保养,但我们仍建议您每年能将仪器送回TSI原厂重新校准一次。我们仅收适当的费用,即可迅速为您重新清洁校准仪器,并将原机以近乎新品的工作状况,连同一份校准证书一并返还给您。这项年检服务将确保您的DustTrakⅡ总是处于最佳工作状态。
警告 |
仪器内部没有可用的部件,除TSI公司或其指定的工程师外不得擅自打开仪器。 |
维修保养时间表
DustTrakⅡ气溶胶监测仪需要定期维护保养。表4-1所列为厂家建议的维修保养时间。如图所示,这些维修保养项目有的需要每次使用DustTrak后就做,有的一年做次,有的则视气溶胶通过仪器的情形而定。例如在1mg/m’浓度采样时,我们建议进气孔喷嘴每350小时清洗一次。这项建议需视仪器使用的情形,以浓度大小加以比例调整,像1mg/m'浓度下350小时取样即相当于0.5mg/m'浓度下700小时取样,或2mg/m'浓度下175小时取样。
建议维修保养时间表
项目 |
频率 |
校零检查 |
每次使用前 |
清洁进气孔 |
1mg/m³浓度时350小时 |
清洁2.5um切割器 |
每次使用前 |
更换内置滤筒 |
1mg/m³浓度时350小时或主屏幕显示过滤器报错 |
将仪器返回原厂清洁和校准 |
每年 |
更换外置泵模块内部的HEPA过滤器 |
每年 |
*比例,请看上面的讨论。
DustTrak 监测仪会记录自最近一次清洁后通过它的气溶胶累积量。当内置过滤器更换完成并重置复原后,显示屏上的过滤器报错指示器应从绿色变为红色。
TSI建议在进行了长时间监测或者某些环境条件显著变化后,每次使用前需要对DustTrakⅡ仪器进行调零检查。例如温度的变化15°F(8°C)或者从高浓度场所移到低浓度的场所进行测量。
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