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采样解决方案--用于半导体晶片制造(Fab)的工作场所
室内空气中各类指标的检验方法
室内空气中各类指标的检验方法
序号 |
指标类别 |
具体指标 |
检验方法 |
方法来源 |
备注 |
1 |
物理性 指标 |
温度 |
一,玻璃液体温度计法 |
GB/T 18204.1(3.1) |
/ |
二,数显式温度计法 |
GB/T 18204.1(3.2) |
||||
2 |
相对湿度 |
一,电阻电容法 |
GB/T 18204.1(4.3) |
/ |
|
二,干湿球法 |
GB/T 18204.1(4.1) |
||||
第三法,氯化锂露点法 |
GB/T 18204.1(4.2) |
||||
3 |
空气流速 |
电风速计法 |
GB/T 18204.1(5) |
/ |
|
4 |
新风量 |
一,示踪气体法 |
GB/T 18204.1(6.1) |
/ |
|
二,风管法 |
GB/T18204.1(6.2) |
||||
5 |
化学性 指标 |
臭氧 |
一,靛蓝二磺酸钠分光光度法 |
GB/T 18204.2(12.2)、HJ 504 |
一连续采样至少45 min,推荐采样流量0.4 L/min;二为直读法,监测至少45 min,推荐监测间隔10 min ~ 15 min,结果以时间加权平均值表示 |
二,紫外光度法 |
HJ 590 |
||||
6 |
二氧化氮 |
一,改进的Saltzaman法 |
GB/T 12372 |
一和二连续采样至少45 min,推荐采样流量0.4 L/min;第三法为直读法,监测至少45 min,推荐监测间隔10 min ~ 15 min,结果以时间加权平均值表示 |
|
二,Saltzaman法 |
GB/T15435 |
||||
第三法,化学发光法 |
HJ/T 167(附录C.2) |
||||
7 |
二氧化硫 |
甲醛溶液吸收-盐酸副玫瑰苯胺分光光度法 |
GB/T16128 |
连续采样至少45 min,推荐采样流量0.5 L/min |
|
8 |
二氧化碳 |
不分光红外分析法(非分散红外法) |
GB/T18204.2(4.1) |
直读法,筛选法监测至少45 min,推荐监测间隔10 min ~ 15 min,累积法监测至少20 h,推荐监测间隔至少1 h,结果均以时间加权平均值表示 |
|
9 |
一氧化碳 |
不分光红外分析法(非分散红外法) |
GB/T 18204.2(3.1) |
直读法,监测至少45 min,推荐监测间隔10 min ~ 15 min,结果以时间加权平均值表示 |
|
10 |
甲醛 |
一,AHMT分光光度法 |
GB/T 16129 |
连续采样至少45min,一推荐采样流量0.4 L/min,二推荐采样流量0.2 L/min,第三法推荐采样流量1.0 L/min |
|
二,酚试剂分光光度法 |
GB/T18204.2(7.2) |
||||
第三法,高效液相色谱法 |
附录B |
||||
11 |
氨 |
一,靛酚蓝分光光度法 |
GB/T18204.2(8.1) |
连续采样至少45 min,一推荐采样流量0.4 L/min,二推荐采样流量1.0 L/min,第三法推荐采样流量0.5 L/min |
|
二,纳氏试剂分光光度法 |
HJ 533 |
||||
第三法,离子选择电极法 |
GB/T14669 |
||||
12 |
苯 |
一,固体吸附-热解吸-气相色谱质谱法 二,固体吸附-热解吸-气相色谱法 第三法,活性炭吸附-二硫化碳解吸-气相色谱法 第四法,便携式气相色谱法 |
附录F 附录C 附录C 附录C |
/ |
|
13 |
甲苯 |
||||
14 |
二甲苯 |
||||
15 |
苯并[a]芘 |
高效液相色谱-荧光检测器法 |
附录D |
/ |
|
16 |
可吸入颗粒物 |
撞击式——称量法 |
附录E |
/ |
|
17 |
细颗粒物 |
撞击式——称量法 |
|||
18 |
总挥发性有机化合物 |
固体吸附-热解吸-气相色谱质谱法 |
附录F |
/ |
|
19 |
三氯乙烯 |
固体吸附-热解吸-气相色谱质谱法 |
附录F |
/ |
|
20 |
四氯乙烯 |
固体吸附-热解吸-气相色谱质谱法 |
附录F |
/ |
|
21 |
生物性 指标 |
细菌总数 |
撞击法 |
附录G |
/ |
22 |
放射性 指标 |
氡222Rn |
一,固体径迹测量方法 二,连续测量方法(筛选法) 第三法,活性炭盒测量方法(筛选法) |
附录H |
/ |
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